新型壓力補償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。

產(chǎn)品型號：SEC-Z700S

更新時間：2025-04-07

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在線分析儀器

在線傳感器壓力控制器質(zhì)量流量計

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進口	應用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
控制范圍	0.5-100% 滿量程	精度	1%
響應時間	300ms≤t≤1000ms	功能	多氣體/多量程
操作溫度	15-60℃

HORIBA SEC-Z700S 系列新型壓力補償質(zhì)量流量控制器（MFC）

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型壓力補償質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），專為高精度氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計。其集成優(yōu)良的熱傳感器與壓力補償算法，有效克服了上游和下游壓力波動對流量穩(wěn)定性的影響，適用于半導體制造、材料工藝、精密氣體混合等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點

多氣體 / 多量程支持
可通過軟件設(shè)置快速切換氣體種類和滿量程流量，提升通用性與靈活性。
內(nèi)建壓力傳感器與溫度傳感器
實現(xiàn)更精確的流量補償，適應復雜的工作環(huán)境。
高潔凈設(shè)計
流路全部采用 SUS316L 不銹鋼及金屬隔膜，表面鏡面拋光，符合半導體行業(yè)高潔凈標準。
豐富的通訊接口
支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工業(yè)通信協(xié)議。
結(jié)構(gòu)緊湊
相同體積覆蓋 50 SLM 以下的多種型號，簡化系統(tǒng)集成。
響應時間可調(diào)
支持 300ms ~ 1000ms 之間靈活調(diào)整控制響應時間。

技術(shù)規(guī)格

規(guī)格	滿量程范圍	氣體類型（可切換）	接口尺寸
SEC-Z711MGX	5 SLM	N? / Ar / H? 等	1/4" VCR
SEC-Z714MGX	20 SLM	多種氣體（可設(shè)定）	1/4" VCR
SEC-Z716MGX	50 SLM	多種氣體（可設(shè)定）	3/8" VCR