HORIBA SEC-Z700X系列壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z700X系列壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體、材料研究、優(yōu)良制造等氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計。其集成了入口壓力傳感器，通過控制算法，實(shí)現(xiàn)了在壓力波動情況下依舊保持穩(wěn)定、高精度的流量控制。

該系列產(chǎn)品支持多氣體、多量程切換，采用高潔凈設(shè)計，符合嚴(yán)苛的潔凈室和超高純氣體環(huán)境需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 壓力補(bǔ)償功能：內(nèi)置壓力傳感器，自動補(bǔ)償入口壓力波動，確保流量穩(wěn)定。

• 多氣體 / 多量程支持（MG/MR）：用戶可根據(jù)需求自由切換氣體類型及滿量程，極大提升系統(tǒng)靈活性。

• 可變 PID 控制算法：自適應(yīng)調(diào)節(jié)響應(yīng)速度與精度，在整個控制范圍內(nèi)均可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)（1 秒內(nèi)）。

• 緊湊型一體化設(shè)計：整合流量傳感器、控制閥、壓力傳感器于一體，節(jié)省空間，簡化氣體供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

• 高潔凈結(jié)構(gòu)：

• 采用全 SUS-316L 不銹鋼材料

• 金屬隔膜密封設(shè)計

• 表面電拋光處理，適合高潔凈工藝環(huán)境

• 高精度控制性能：流量設(shè)定精度達(dá) ±1% F.S.

• 多種通訊方式：支持模擬信號、RS485、DeviceNet™ 等工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接口，方便集成至自動化系統(tǒng)。

• 低壓損 & 高重復(fù)性：高重復(fù)性（±0.2% F.S.）和極低的壓降，提升系統(tǒng)效率。

技術(shù)規(guī)格