HORIBA SEC-N112MGM 熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質(zhì)量流量控制器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。該設(shè)備采用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理，結(jié)合先進(jìn)的模擬控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)速度的氣體流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高精度控制：設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±1.0% S.P.；設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±0.3% F.S.

• 快速響應(yīng)：采用可變 PID 控制算法，實(shí)現(xiàn) 1 秒內(nèi)快速響應(yīng)，適應(yīng)不同設(shè)定點(diǎn)的變化。

• 多種通信接口：支持模擬信號(hào)（0–5V、0–10V、4–20mA），滿足不同系統(tǒng)集成需求。

• 全金屬結(jié)構(gòu)：采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，確保設(shè)備在高純度和腐蝕性氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性和耐用性。

• 安裝靈活：支持任意角度安裝，便于系統(tǒng)集成和維護(hù)。

技術(shù)參數(shù)

• 測(cè)量原理：熱式質(zhì)量流量計(jì)（Thermal Mass Flow Meter）

• 控制方式：可變 PID 控制算法，實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)

• 適用氣體：支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體，如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等（使用前需確認(rèn)氣體兼容性）

• 精度說(shuō)明：

• 當(dāng)設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±1.0% of Set Point

• 當(dāng)設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí)，精度為 ±0.3% of Full Scale

• 響應(yīng)時(shí)間：小于 1 秒，適應(yīng)工藝過(guò)程中的快速切換

• 流量范圍：從 10 SCCM 到 50 SLM，根據(jù)具體型號(hào)而定，適配多種應(yīng)用需求

• 通信接口：

• 模擬信號(hào)：0–5V、0–10V、4–20mA

• 電源要求：

• 模擬型產(chǎn)品需 ±15V DC 供電

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C，適用于潔凈室及標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)環(huán)境

• 設(shè)備尺寸：約 81.8 毫米（寬）× 30.5 毫米（厚）× 126 毫米（高）

• 產(chǎn)品重量：約 1.2 千克，結(jié)構(gòu)緊湊、便于集成

• 安裝方式：支持面板安裝或機(jī)架安裝，方便系統(tǒng)集成

• 產(chǎn)品認(rèn)證：符合 CE、RoHS 等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（依據(jù)型號(hào)）

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)

• 真空設(shè)備中的氣體注入控制

• 等離子體蝕刻與沉積設(shè)備

• 光伏太陽(yáng)能電池制造

• OLED、LED、液晶顯示面板生產(chǎn)線

型號(hào)說(shuō)明

SEC-N112MGM 系列根據(jù)不同的通信方式和功能，分為多個(gè)子型號(hào)：

• SEC-N112MGM：支持模擬信號(hào)接口，適用于需要遠(yuǎn)程控制和監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)。

• SEC-N112MGR：支持 RS-485 數(shù)字通信接口，適用于數(shù)字化控制系統(tǒng)。

不同型號(hào)在通信接口、電源要求、功能特性等方面有所差異，用戶應(yīng)根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇合適的型號(hào)。