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質(zhì)量流量計(jì)
SEC-N112MGM熱式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào):SEC-N112MGM
更新時(shí)間:2025-05-22
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:333
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場(chǎng) | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,汽車及零部件,綜合 |
HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質(zhì)量流量控制器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。該設(shè)備采用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理,結(jié)合先進(jìn)的模擬控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)高精度、高響應(yīng)速度的氣體流量控制。
高精度控制:設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±1.0% S.P.;設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±0.3% F.S.
快速響應(yīng):采用可變 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn) 1 秒內(nèi)快速響應(yīng),適應(yīng)不同設(shè)定點(diǎn)的變化。
多種通信接口:支持模擬信號(hào)(0–5V、0–10V、4–20mA),滿足不同系統(tǒng)集成需求。
全金屬結(jié)構(gòu):采用 316L 不銹鋼材質(zhì),確保設(shè)備在高純度和腐蝕性氣體環(huán)境中的穩(wěn)定性和耐用性。
安裝靈活:支持任意角度安裝,便于系統(tǒng)集成和維護(hù)。
測(cè)量原理:熱式質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flow Meter)
控制方式:可變 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn)快速穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)
適用氣體:支持多種腐蝕性和非腐蝕性氣體,如 N?、O?、Ar、H?、SiH?、PH?、CF?、NF?、SF? 等(使用前需確認(rèn)氣體兼容性)
精度說(shuō)明:
當(dāng)設(shè)定值大于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±1.0% of Set Point
當(dāng)設(shè)定值小于或等于 30% F.S. 時(shí),精度為 ±0.3% of Full Scale
響應(yīng)時(shí)間:小于 1 秒,適應(yīng)工藝過(guò)程中的快速切換
流量范圍:從 10 SCCM 到 50 SLM,根據(jù)具體型號(hào)而定,適配多種應(yīng)用需求
通信接口:
模擬信號(hào):0–5V、0–10V、4–20mA
電源要求:
模擬型產(chǎn)品需 ±15V DC 供電
工作溫度范圍:5°C 至 50°C,適用于潔凈室及標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)環(huán)境
設(shè)備尺寸:約 81.8 毫米(寬)× 30.5 毫米(厚)× 126 毫米(高)
產(chǎn)品重量:約 1.2 千克,結(jié)構(gòu)緊湊、便于集成
安裝方式:支持面板安裝或機(jī)架安裝,方便系統(tǒng)集成
產(chǎn)品認(rèn)證:符合 CE、RoHS 等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(依據(jù)型號(hào))
半導(dǎo)體工藝氣體輸送系統(tǒng)
真空設(shè)備中的氣體注入控制
等離子體蝕刻與沉積設(shè)備
光伏太陽(yáng)能電池制造
OLED、LED、液晶顯示面板生產(chǎn)線
SEC-N112MGM 系列根據(jù)不同的通信方式和功能,分為多個(gè)子型號(hào):
SEC-N112MGM:支持模擬信號(hào)接口,適用于需要遠(yuǎn)程控制和監(jiān)測(cè)的系統(tǒng)。
SEC-N112MGR:支持 RS-485 數(shù)字通信接口,適用于數(shù)字化控制系統(tǒng)。
不同型號(hào)在通信接口、電源要求、功能特性等方面有所差異,用戶應(yīng)根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇合適的型號(hào)。
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