HORIBA STEC SEC-N114MGM 高精度數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）

產(chǎn)品概述

HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產(chǎn)品專(zhuān)為半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，具備高精度、多通信協(xié)議支持和快速響應(yīng)等特點(diǎn)。

主要特點(diǎn)

• 高精度控制：控制精度可達(dá) ±1.0% 設(shè)定點(diǎn)，確保流量控制的準(zhǔn)確性。

• 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程控制。

• 多通信協(xié)議支持：支持 DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多種通信協(xié)議，確保與不同系統(tǒng)的兼容性。

• 多氣體/多量程功能：用戶可通過(guò)軟件更改氣體類(lèi)型和滿量程設(shè)置，無(wú)需更換設(shè)備，提升靈活性。

• 高可靠性設(shè)計(jì)：采用 316L 不銹鋼接液材質(zhì)，適用于腐蝕性氣體，高潔凈工藝兼容。

技術(shù)參數(shù)

• 型號(hào)：SEC-N114MGM

• 流量范圍：1 SLM 至 10 SLM（以氮?dú)鉃榛鶞?zhǔn)）

• 控制范圍：2% 至 100% 滿量程

• 測(cè)量范圍：0% 至 100% 滿量程

• 控制精度：

• 當(dāng)流量大于 25% 滿量程時(shí)：±1.0% 設(shè)定點(diǎn)

• 當(dāng)流量小于或等于 25% 滿量程時(shí)：±0.25% 滿量程

• 響應(yīng)時(shí)間：小于 1 秒

• 重復(fù)性：±0.2% 滿量程

• 線性度：±0.5% 滿量程

• 工作溫度范圍：5°C 至 50°C（推薦 15°C 至 45°C）

• 工作壓差范圍：50 至 300 kPa（差壓）

• 最大工作壓力：450 kPa（表壓）

• 泄漏率：≤ 5 × 10?12 Pa·m3/s（氦氣）

• 電源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA

• 通信接口：支持 DeviceNet 協(xié)議

• 接液材質(zhì)：316L 不銹鋼

• 標(biāo)準(zhǔn)接頭：1/4 英寸 VCR 或 Swagelok 接頭

• 安裝方向：不限

• 閥門(mén)類(lèi)型：常閉型（C 型）

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造中的氣體輸送與刻蝕工藝

• 光通信器件的高純氣體控制

• 研究與測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

• 食品和飲料制造中的滅菌過(guò)程