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實驗室儀器及設(shè)備
恒溫器
LAUDA Semistat熱電式過程恒溫器

產(chǎn)品型號:LAUDA Semistat
更新時間:2025-06-26
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:190
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | LAUDA/勞達(dá) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合 |
LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷(Peltier)技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器,專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍,適用于等離子刻蝕(Plasma Etching)等高精度溫控應(yīng)用。與傳統(tǒng)壓縮機(jī)制冷系統(tǒng)相比,Semistat 系統(tǒng)能效更高、體積更小,非常適合安裝于潔凈室地板下,節(jié)省空間并降低能耗。
節(jié)能環(huán)保:無壓縮機(jī)和制冷劑,能效高,能耗低。
緊湊設(shè)計:行業(yè)內(nèi)最小占地面積,適合地下安裝,節(jié)省潔凈室空間。
快速響應(yīng):動態(tài)溫控系統(tǒng),溫度穩(wěn)定性高達(dá) ±0.1?K。
低液量:極低的熱傳導(dǎo)液體量,減少能量損耗。
兼容性強(qiáng):支持多種刻蝕設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計:便于現(xiàn)場維護(hù)和模塊更換。
| 型號 | 工作溫度 | 最高工作溫度 | 最大加熱功率 | 20?°C 時制冷功率 | 最大泵流量(壓力) | 外形尺寸(寬×深×高) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20?°C | +90?°C | 3?kW | 1.2?kW | 18.9?L/min(0.274?MPa) | 116?×?232?×?470?mm | 25?kg |
| Semistat S 2400 | –20?°C | +90?°C | 6?kW | 2.45?kW | 同上 | 116?×?300?×?560?mm | 35?kg |
| Semistat S 4400 | –20?°C | +90?°C | 12?kW | 4.4?kW | 同上 | 194?×?300?×?560?mm | 55?kg |
半導(dǎo)體制造:用于晶圓刻蝕過程中的溫控,確??涛g質(zhì)量。
實驗室研究:為科研設(shè)備提供精確的溫控支持。
潔凈室系統(tǒng):節(jié)省空間并降低能耗,適合潔凈室環(huán)境。
高精度制造:滿足對溫控精度要求高的制造工藝。
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