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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心實驗室儀器及設(shè)備恒溫器LAUDA Semistat熱電式過程恒溫器

熱電式過程恒溫器
產(chǎn)品簡介:

LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷(Peltier)技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器,專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍,適用于等離子刻蝕(Plasma Etching)等高精度溫控應(yīng)用。

產(chǎn)品型號:LAUDA Semistat

更新時間:2025-06-26

廠商性質(zhì):代理商

訪問量:190

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品牌LAUDA/勞達(dá)價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合

LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器

產(chǎn)品簡介

LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷(Peltier)技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器,專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍,適用于等離子刻蝕(Plasma Etching)等高精度溫控應(yīng)用。與傳統(tǒng)壓縮機(jī)制冷系統(tǒng)相比,Semistat 系統(tǒng)能效更高、體積更小,非常適合安裝于潔凈室地板下,節(jié)省空間并降低能耗。

核心特點

  • 節(jié)能環(huán)保:無壓縮機(jī)和制冷劑,能效高,能耗低。

  • 緊湊設(shè)計:行業(yè)內(nèi)最小占地面積,適合地下安裝,節(jié)省潔凈室空間。

  • 快速響應(yīng):動態(tài)溫控系統(tǒng),溫度穩(wěn)定性高達(dá) ±0.1?K。

  • 低液量:極低的熱傳導(dǎo)液體量,減少能量損耗。

  • 兼容性強(qiáng):支持多種刻蝕設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)。

  • 模塊化設(shè)計:便于現(xiàn)場維護(hù)和模塊更換。

技術(shù)參數(shù)

型號工作溫度最高工作溫度最大加熱功率20?°C 時制冷功率最大泵流量(壓力)外形尺寸(寬×深×高)重量
Semistat S 1200–20?°C+90?°C3?kW1.2?kW18.9?L/min(0.274?MPa)116?×?232?×?470?mm25?kg
Semistat S 2400–20?°C+90?°C6?kW2.45?kW同上116?×?300?×?560?mm35?kg
Semistat S 4400–20?°C+90?°C12?kW4.4?kW同上194?×?300?×?560?mm55?kg




應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造:用于晶圓刻蝕過程中的溫控,確??涛g質(zhì)量。

  • 實驗室研究:為科研設(shè)備提供精確的溫控支持。

  • 潔凈室系統(tǒng):節(jié)省空間并降低能耗,適合潔凈室環(huán)境。

  • 高精度制造:滿足對溫控精度要求高的制造工藝。

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