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HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型號(hào)之一。

HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，具備高精度、多通信協(xié)議支持和快速響應(yīng)等特點(diǎn)。

HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隸屬于 HORIBA Z500X 系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。

SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。

HORIBA GR-511F 是一款專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器，主要用于在靜電吸盤(pán)（ESC）環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量，以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。