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在線分析儀器
質(zhì)量流量計
S48-32氣體質(zhì)量流量控制器





產(chǎn)品型號:S48-32
更新時間:2025-04-07
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:324
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 |
| 控制精度 | ±1.0% | 響應(yīng)時間 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | 模擬電壓信號(0~5 VDC)或數(shù)字通訊(選配) | 使用溫度 | 5~50°C |
| 工作壓力 | 50~300 kPa |
HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),適用于多種氣體控制場合,兼具高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領(lǐng)域。
安裝靈活:支持任意角度安裝,提升現(xiàn)場布局的自由度。
高精度控制:采用多段線性調(diào)整技術(shù),控制精度更高,調(diào)節(jié)比更寬。
快速響應(yīng):T98響應(yīng)時間小于1秒,滿足快速過程控制需求。
自動零點調(diào)整:具備自動零點修正功能,有效補償環(huán)境變化帶來的偏差。
多氣體兼容:可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。
豐富的流量范圍:覆蓋10 SCCM至50 SLM,滿足從微量到大流量的不同應(yīng)用。

分析儀器:用于氣相色譜、光譜儀、質(zhì)譜儀等氣體控制部分。
實驗室研究:氣體混合、等離子體實驗、化學(xué)反應(yīng)氣體流量控制。
半導(dǎo)體與真空工藝:PVD、CVD、刻蝕、擴散等工藝中的精密氣體輸送。
太陽能電池制造:氣體沉積、氣氛控制。
光纖制造:MCVD/VAD/OVD等工藝中對反應(yīng)氣的精確控制。
環(huán)境監(jiān)測:VOCs檢測、PM2.5分析、動態(tài)稀釋系統(tǒng)。
爐窯控制:氣體配比、燃燒控制等工業(yè)過程。
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