D700T是為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測(cè)量和控制技術(shù)，以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復(fù)和準(zhǔn)確的性能。

產(chǎn)品型號(hào)：D700T

更新時(shí)間：2025-04-07

廠商性質(zhì)：代理商

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在線分析儀器

在線傳感器壓力控制器質(zhì)量流量計(jì)

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場(chǎng)	價(jià)格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件
動(dòng)態(tài)范圍	可定制	支持氣體	支持多種氣體及單位（sccm ~ slm）
控制精度	±0.45% S.P.	響應(yīng)時(shí)間	小于 100 ms
通信接口	DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等	使用溫度	15°C ~ 60°C
工作壓力	≤0.5 MPa（參考?xì)怏w不同略有差異）

HORIBA D700T 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA D700T 是一款面向半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測(cè)量與控制技術(shù)，具備出色的響應(yīng)速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示器、光電子等制造領(lǐng)域的氣體輸送系統(tǒng)中。

產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)時(shí)間
配備新一代控制算法和雙閥門結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了小于 100 ms 的高速響應(yīng)，大幅提高了生產(chǎn)效率。
進(jìn)/出口壓力變化不敏感
補(bǔ)償機(jī)制可在工藝過程中壓力波動(dòng)的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。
高重復(fù)性與高精度

重復(fù)性：≤ ±0.15% F.S.
精度：優(yōu)良可達(dá) ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.

故障檢測(cè)與自診斷功能
具備優(yōu)良的自診斷能力，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風(fēng)險(xiǎn)。
數(shù)字化通信接口
支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，方便與上位系統(tǒng)集成。
適應(yīng)嚴(yán)苛工藝環(huán)境
工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)	數(shù)值
控制范圍	可定制
支持氣體	多種氣體
控制精度	±0.8% S.P.（典型），±0.45% S.P.（優(yōu)良）
重復(fù)性	±0.15% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 100 ms
通信接口	DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等
工作壓力	真空至 300 kPa
使用溫度	15°C ~ 60°C
接口類型	DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等