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質(zhì)量流量計(jì)
D700MG高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號:D700MG
更新時(shí)間:2025-04-07
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:210
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 |
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 2 SCCM 起 | 支持氣體 | 支持多種氣體及單位(sccm ~ slm) |
| 控制精度 | ±1% S.P. | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 100 ms |
| 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 | 使用溫度 | 15°C ~ 60°C |
HORIBA D700MG 是一款高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量控制器,專為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)中對高精度、快響應(yīng)和耐腐蝕性有嚴(yán)格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。產(chǎn)品具備優(yōu)秀的控制性能及自診斷能力,適用于刻蝕、沉積等關(guān)鍵制程。
超快響應(yīng)性能
D700MG 實(shí)現(xiàn)了小于 100 ms 的響應(yīng)時(shí)間(符合 SEMI E17-1011 標(biāo)準(zhǔn)),顯著提升系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能,減少氣體滯后。
壓力擾動(dòng)不敏感設(shè)計(jì)
內(nèi)部結(jié)構(gòu)與算法支持壓力擾動(dòng)補(bǔ)償,即使在進(jìn)出口壓力波動(dòng)(≤ ±70 kPa/s)時(shí)也能保持穩(wěn)定流量。
小流量控制能力出眾
支持 Bin101 至 Bin105 流量等級,可用于 2 SCCM 起的小流量精密控制(2 SCCM 以下不保證精度)。
智能狀態(tài)監(jiān)控功能
內(nèi)置診斷系統(tǒng),可記錄:
壓力和流量調(diào)零計(jì)數(shù)
閥門驅(qū)動(dòng)變化次數(shù)
最大/最小流量和壓力變化 實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)和遠(yuǎn)程故障預(yù)警。
增強(qiáng)的閥門關(guān)閉性能與耐腐蝕性
采用 PFA(全氟烷氧基)噴嘴結(jié)構(gòu),有效抑制顆粒產(chǎn)生,提高化學(xué)兼容性與系統(tǒng)純凈度。

半導(dǎo)體刻蝕工藝(Etching)
原子層沉積(ALD)
化學(xué)氣相沉積(CVD)
封裝及材料氣氛控制
OLED 顯示面板制造
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