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質(zhì)量流量計(jì)
XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品型號(hào):XF-100 系列
更新時(shí)間:2025-05-08
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:238
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場(chǎng) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 液體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
HORIBA 的 XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)是一款專為半導(dǎo)體制造等高精度流體控制場(chǎng)景設(shè)計(jì)的儀器。該系列采用壓差測(cè)量原理,具備快速響應(yīng)、高精度和潔凈設(shè)計(jì)等特點(diǎn),適用于對(duì)液體流量控制要求嚴(yán)格的工藝環(huán)境。
測(cè)量原理:基于壓差法,能夠在 100 毫秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng);若與壓電閥組合使用,響應(yīng)時(shí)間可縮短至 0.8 秒以內(nèi)。
測(cè)量精度:±0.8% 滿量程,適用于高精度流量控制需求。
潔凈設(shè)計(jì):采用超潔凈結(jié)構(gòu),滿足半導(dǎo)體等對(duì)潔凈度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景。
應(yīng)用領(lǐng)域:主要用于半導(dǎo)體工藝中的液體流量監(jiān)控與控制,如光刻、蝕刻、薄膜沉積等環(huán)節(jié)。

半導(dǎo)體制造中的光刻、清洗、涂膠等工藝液體控制
光電顯示產(chǎn)業(yè)的液體配比系統(tǒng)
微流控與化學(xué)反應(yīng)控制設(shè)備
高精度試劑配液與傳輸
激光加工冷卻液精控
如果您對(duì)更大流量范圍或集成控制功能有需求,HORIBA 還提供 LF-F/LV-F 系列液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,適用于更廣泛的工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景。
如需進(jìn)一步了解 XF-100 系列的應(yīng)用案例、選型建議或與其他流量計(jì)的對(duì)比信息,請(qǐng)告知您的具體需求,我將為您提供更詳細(xì)的資料和建議。
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