HORIBA LF-F / LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA LF-F / LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器 是專為微小液體流量測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)的高性能設(shè)備。該系列產(chǎn)品采用冷卻測(cè)量原理，能夠?qū)崿F(xiàn)從微升至超低流量的高精度控制，特別適用于對(duì)流量控制精度要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 冷卻測(cè)量原理：采用珀?duì)柼鋮s液體，避免了低沸點(diǎn)化學(xué)物質(zhì)沸騰的風(fēng)險(xiǎn)，實(shí)現(xiàn)更安全的化學(xué)控制 。

• 高精度測(cè)量：具備 ±0.5% F.S. 的高精度和 ±0.5% F.S. 的重復(fù)性，確保流量控制的穩(wěn)定性和一致性。

• 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于 3 秒（T98），滿足對(duì)流量變化快速響應(yīng)的需求。

• 超潔凈設(shè)計(jì)：接液部分采用 SUS316L 不銹鋼材質(zhì)，滿足超潔凈工藝要求，適用于半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域。

• 多種通信接口：支持模擬信號(hào)輸出（0–5 VDC）和數(shù)字通信（RS-485），便于集成至自動(dòng)化控制系統(tǒng)中。

• 廣泛的流量范圍：提供從 0.02 g/min 到 100 g/min 的多種型號(hào)，滿足不同流量控制需求 。

型號(hào)與規(guī)格

LF-F / LV-F 系列提供多種型號(hào)，以滿足不同的流量控制需求：

• LF-F20M-A / LV-F20(PO/MO)：適用于 0.02、0.05、0.1 g/min 的超低流量測(cè)量和控制。

• LF-F30M-A / LV-F30(PO/MO)：適用于 0.2、0.5 g/min 的低流量應(yīng)用。

• LF-F40M-A / LV-F40(PO/MO)：適用于 1、2、5 g/min 的中低流量控制。

• LF-F50M-A / LV-F50(PO/MO)：適用于 10、20 g/min 的中等流量應(yīng)用。

• LF-F60M-A / LV-F60(PO/MO)：適用于 50、100 g/min 的較高流量控制需求。

所有型號(hào)均具備 ±0.5% F.S. 的精度和 ±0.5% F.S. 的重復(fù)性，響應(yīng)時(shí)間小于 3 秒（T98），接液材質(zhì)為 SUS316L 不銹鋼，適用于 5 至 50°C 的操作溫度范圍，最大操作壓力為 5 MPa（僅限流量計(jì)型號(hào)）。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體制造中的光刻、清洗、涂膠等工藝液體控制。

• 光電顯示產(chǎn)業(yè)的液體配比系統(tǒng)。

• 微流控與化學(xué)反應(yīng)控制設(shè)備。

• 高精度試劑配液與傳輸。

• 激光加工冷卻液精控。