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HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。

HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場合，兼具高精度、快速響應和高穩(wěn)定性，廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領域。

SEC-8000F/D/E 系列高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作，用于半導體和化合物半導體加工在內(nèi)的各種工作任務。

SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。

S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，即模擬、RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™和EtherCAT®。