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HORIBA 的 XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計是一款專為半導(dǎo)體制造等高精度流體控制場景設(shè)計的儀器。

SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出。

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)中對高精度、快響應(yīng)和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。

D700T是為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復(fù)和準確的性能。