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HORIBA 的 XF-100 系列數字式液體質量流量計是一款專為半導體制造等高精度流體控制場景設計的儀器。

SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數字質量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。

S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出。

HORIBA SEC-N100系列數字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器，專為半導體及相關行業(yè)中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。

D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復和準確的性能。