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HORIBA D700MG 是一款高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量控制器,專為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)中對高精度、快響應(yīng)和耐腐蝕性有嚴(yán)格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。
D700T是為關(guān)鍵半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù),以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復(fù)和準(zhǔn)確的性能。
HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),適用于多種氣體控制場合,兼具高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領(lǐng)域。
SEC-8000F/D/E 系列高溫?cái)?shù)字式質(zhì)量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作,用于半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體加工在內(nèi)的各種工作任務(wù)。
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